掃描電子顯微鏡(SEM)拉近了納米微觀世界和人類的距離,具有很大的放大倍率范圍,既可以觀察近似裸眼所看到的完整視野圖像,也可以在非常高倍下觀察納米結(jié)構(gòu),掃描電子顯微鏡能夠裝配分析功能附件,進(jìn)行亞微米區(qū)域的元素分析,掃描電子顯微鏡目前已經(jīng)成為科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的工具。 JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)裝配了JEOL生產(chǎn)的EDS系統(tǒng),可以同時(shí)進(jìn)行圖像觀察和元素分析,低真空掃描電鏡JSM-6510LA可以觀察和分析不導(dǎo)電樣品。
一、設(shè)備租賃簡要說明
1、遠(yuǎn)景設(shè)備租賃:株式電子JEOL 掃描電子顯微鏡 JSM-6510LA
2、株式電子JEOL掃描電子顯微鏡 JSM-6510LA-設(shè)備簡介
株式電子掃描電鏡JSM-6510A/JSM-6510LA型與日本電子公司的元素分析儀(EDS)統(tǒng)合于一體,結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制,操作員只用一只鼠標(biāo),就可完成從圖像觀測(cè)到元素分析的整個(gè)過程。
JOEL JSM-6510掃描電子顯微鏡是一款高性能低價(jià)格的掃描電子顯微鏡,分辨率可達(dá)3.0nm。可按用戶要求定做的操作接口便于用戶直觀操作儀器。SmileShot軟件保證得到zui佳電子光學(xué)參數(shù)。
JSM-6510的LGS型大樣品臺(tái)和GS型普通樣品臺(tái)可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品。適合于多種測(cè)量功能。可在觀察圖像上直接進(jìn)行測(cè)量,也可將測(cè)量結(jié)果貼至SEM圖像,保存在文件中。
3、●設(shè)備基本參數(shù)●
二、設(shè)備特點(diǎn)
1、操作方便
樣品室抽氣完畢后即可開始圖像觀察。操作菜單簡單易懂,用戶無須花費(fèi)很多時(shí)間去了解。簡單點(diǎn)擊高壓(HT)圖標(biāo)打開電子源,電子源完全自動(dòng)調(diào)整,用戶馬上可以開始觀察圖像。
2、測(cè)量功能
標(biāo)準(zhǔn)搭載多種測(cè)量功能,用戶可以在顯示的SEM圖像上進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量,并將測(cè)量結(jié)果保存。
3、樣品導(dǎo)航系統(tǒng)
全對(duì)中樣品臺(tái)傾斜時(shí)觀察區(qū)域和焦點(diǎn)改變最小,十分適合于從不同的方向觀察表面粗糙的樣品。無論是高倍率下的8mm工作距離,10mm的分析工作距離,還是大景深下的長工作距離,樣品臺(tái)都可以全對(duì)中。在X,Y移動(dòng)或樣品傾斜后旋轉(zhuǎn)時(shí)焦點(diǎn)變化很小,觀察大樣品十分有效。全對(duì)中樣品臺(tái)可以完全觀察直徑為125mm的樣品。
4、不導(dǎo)電樣品無噴鍍觀察
JSM-6510LA裝配了低真空模式,可以對(duì)不導(dǎo)電樣品進(jìn)行觀察。用能譜儀(EDS)分析樣品時(shí),即使使用高加速電壓也不用擔(dān)心有放電影響。
5、高質(zhì)量的圖像
掃描電鏡中的標(biāo)準(zhǔn)菜單列出了JEOL應(yīng)用專家們建議的工作條件,幫助用戶即時(shí)選擇掃描電鏡的最佳工作條件。當(dāng)用戶發(fā)現(xiàn)自己的樣品有更好的工作條件時(shí),可以保存在客戶菜單中以便經(jīng)常使用,也可以保存其他用戶的工作條件。掃描電鏡顯示的圖像因?yàn)榧铀匐妷旱牟煌兓S脩粜枰鶕?jù)自己樣品的密度和結(jié)構(gòu)尺寸選擇合適的電壓(電子能量)來獲取圖像。
6、成分襯度
JEOL專利技術(shù)的高靈敏度背散射電子檢測(cè)器可以獲得成份像、形貌像和陰影像。檢測(cè)器安裝在物鏡底部,用戶無須自己動(dòng)手插入或拔出。
7、三維視圖(3D Sight)軟件
掃描電鏡和光學(xué)顯微鏡相比具有更大的景深和更高的分辨率,所以適合于復(fù)雜形貌的觀察。三維視圖(3D Sight)軟件通過一對(duì)立體圖像可以合成一幅俯視圖。用戶在俯視圖上可以測(cè)量表面形貌的高度。
8、分析
JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡配有JEOL開發(fā)生產(chǎn)的能譜儀(EDS),和JSM-6510在同一個(gè)控制系統(tǒng)中。在觀察SEM圖像的同時(shí)可以在SEM顯示器上隨時(shí)進(jìn)行EDS分析。
三、設(shè)備檢測(cè)應(yīng)用
JSM-6510系列掃描電子顯微鏡是一種熱電子槍型的通用掃描電鏡,通過結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)配方可以滿足廣大用戶的需求,可以通過多種選項(xiàng)(例如 Cryo)進(jìn)一步擴(kuò)展您的使用范圍。
最低放大倍率下的觀察視野超過25mm寬度,易于找到目標(biāo)區(qū)域。不改變聚焦?fàn)顟B(tài)的條件下可以連續(xù)改變放大倍率,因此高倍下尋找目標(biāo)區(qū)域既方便又快捷。使用1KV的低加速電壓能夠觀察樣品的表面精細(xì)結(jié)構(gòu)。1kV左右的加速電壓也可以對(duì)不導(dǎo)電樣品進(jìn)行無噴鍍觀察。
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