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飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX是集成化成像分析系統。借助該系統，既可觀察樣品的表面開/貌，又可分析其元素組分。

研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助集成、特殊設計的能譜探測器.飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX可以完善解決上述所有問題。

能譜儀是一種基于樣品被電子束激發而產生×射線的分析儀器。Phenom的能譜儀無論軟件、硬件都是完全集成設計在飛納電鏡能譜一體機Phenom ProX系統中。
Element ldentfication (EID)軟件可以使用戶實現多點分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數據。

第六代 Phenom ProX 臺式掃描電鏡引入了全新一代操作系統，通過改進光路設計，將分辨率提升到新高度。能譜操作界面與能譜算法進一步升級，易于操作，元素分析更快速。在滿足材料表面形貌和元素分析的基礎上，還可以通過軟件控制硬件，實現材料分析自動化。此外，用戶可以通過特定的軟件從 SEM 圖像中快速提取樣品特征信息，測量數據、統計圖表可以根據選擇的格式輸出在報告里。