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FIB（Focused Ion Beam，聚焦離子束)是將離子源（如鎵）產生的離子束經過離子槍加速，并利用電透鏡聚焦成非常小尺寸（納米級）的顯微切割儀器。可以實現微、納米級尺度的表面形貌加工。通常會配置高分辨的掃描電鏡（SEM），用于切割位置的定位及新鮮截面的成像，也就是常說的雙束FIB。
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