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▎GE新推出的X射線檢測系統phoenix x|aminer是為半導體封裝和線路板組裝等電子領域的高分辨率檢測要求而專門設計的一款X射線檢測系統。系統采用開放式160kV/20W微焦點X射線管。采用高功率射線管，可以穿透高吸收性工件。該系統使用特有的phoenix x|act base軟件解決方案。基于其模塊化設計，軟件具有極高的使用靈活性，可用于手動和自動檢測。 |  |
技術規格和配置 |
系統放大倍率和分辨率
幾何放大倍率 2100x | 總放大倍率 >23000x | 細節分辨率 小于1微米 |
亞微米X射線管
類型 | 開放式微米管、透射管頭、170度輻射角、準直功能 |
最大管電壓 | 160KV |
最大管功率 | 20W |
靶 | 無毒載體鎢靶，并可旋轉以多次使用 |
燈絲 | 鎢絲，經預調的即插式結構，更換簡單快捷，20分鐘內完成 |
真空系統 | 無油式低真空泵＋渦輪分子真空泵 |
探測器
數字成像鏈 | 高分辨率4” 雙視野圖像增強器2M像素高分辨率數字相機 |
操控平臺
總體結構 | 高精度抗震動、5軸同步驅動 |
最大檢測范圍 | 410mm×410mm |
最大工件尺寸/重量 | 410mm×410mm/5kg |
ovhm-斜角視圖旋轉 | 可調視角70°，n×360° |
操控 | 操縱桿控制或鼠標(手動模式)和數控編程控制(自動模式) |
軸速(X-Y-Z) | 10μm/s到80mm/s |
操控輔助功能 | X射線影像導航圖，點擊移動功能，點擊放大功能，自動保持視野中心功能，激光定位瞄準 |
防碰撞系統 | 防止檢測樣品與射線管產生碰撞 |
圖像處理軟件
phoenix x|act base | 全面的X射線圖像分析軟件，包含圖像對比增強和濾波功能、測量功能、數控編程功能 |
bga|module BGA | 焊點自動檢測功能 |
vc|module | 空隙面積比自動計算，包括多芯片的貼裝空隙檢測功能 |
系統尺寸
尺寸(W x H x D) | 1800mm×1900mm×1815mm（不包括控制臺） | ||
高度可調控制面板 | 400mm | 最大重量 | 2050kg |
輻射安全防護
全方位防護 | 鉛鋼防護結構與鉛玻璃窗的安全屏蔽室 |
輻射泄漏劑量率 | <1μSv/h，符合國際標準 |
硬件選項
傾斜/旋轉裝置 | 傾斜±45°和旋轉n×360°，最大工件重量為2kg |
輔助定位裝置 | 十字線激光 |
旋轉臺用PCB板支架裝置 | 最大載板尺寸310mm×310mm (12"×12") |
XY-平臺 | 增大檢測區域為510mm×510mm (20"×20") (不使用旋轉臺) |
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