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Disco DFG8540 表面精磨機 匯集現有研削機的精華 DFG8540/8560是在世界各地擁有大量用戶的DFG800系列的升級 換代機種。該機種既具備了與800系列同樣的技術指標及性能，又 在設備的重量方面取得了重大改進。 DFG8540的重量比原來減少了 1.2 t（比DFG850降低28 ％），DFG8560的重量比原來減少1.0 t （比DFG860降低20 ％）。 可對100 μm以下的超薄晶圓進行精密研削 改善超薄晶圓研削及搬運系統的功能參數設計，提高了超薄研削 精加工的穩定性。 具有對應超薄研削精加工技術的系統擴張功能 可以與DBG（Dicing Before Grinding＝先分割晶圓，后進行研削） 和乾式拋光機（DFP8140／8160）等組成聯機系統。 |
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Disco DFG8540 表面精磨機 |
DFG8540/8560是在世界各地擁有大量用戶的DFG800系列的升級 |
該機種既具備了與800系列同樣的技術指標及性能 |
DFG8560的重量比原來減少1.0 t （比DFG860降低20 ％） |
可對100 μm以下的超薄晶圓進行精密研削 改善超薄晶圓研削及搬運系統的功能參數設計 |
提高了超薄研削 精加工的穩定性 |
不但提高了第二主軸的研削加工穩定性，而且減小了單片晶圓內的厚度誤差和晶 圓之間的厚度誤差，還有助于提高超薄研削加工質量的穩定性 |
維持與現有DFG800系列間的相容性及零部件互換性 DFG8540/8560維持與現有機種的互換性 |
設備的機械狀態和加 工狀況可在控制畫面上同步顯示 |
操作人員只 要觸摸控制畫面上的圖形化按鈕， 就可以簡單 地完成操作 |
便攜式控制屏 操作畫面 操作簡便 |
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